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什么是四探針法?

日期:2021-04-22瀏覽:8613次

四探針法通常用來測(cè)量半導(dǎo)體的電阻率。四探針法測(cè)量電阻率有個(gè)大的優(yōu)點(diǎn),它不需要較準(zhǔn);有時(shí)用其它方法測(cè)量電阻率時(shí)還用四探針法較準(zhǔn)。

與四探針法相比,傳統(tǒng)的二探針法更方便些,因?yàn)樗恍枰僮鲀蓚€(gè)探針,但是處理二探針法得到的數(shù)據(jù)卻很復(fù)雜。如圖一,電阻兩端有兩個(gè)探針接觸,每個(gè)接觸點(diǎn)既測(cè)量電阻兩端的電流值,也測(cè)量了電阻兩端的電壓值。

我們希望確定所測(cè)量的電阻器的電阻值,總電阻值:

RT=V/I=2RW+2RC+RDUT;其中RW是導(dǎo)線電阻,RC是接觸電阻,RDUT所要測(cè)量的電阻器的電阻,顯然用這種方法不能確定RDUT的值。矯正的辦法就是使用四點(diǎn)接觸法,即四探針法。如圖二,電流的路徑與圖一中相同,但是測(cè)量電壓使用的是另外兩個(gè)接觸點(diǎn)。盡管電壓計(jì)測(cè)量的電壓也包含了導(dǎo)線電壓和接觸電壓,但由于電壓計(jì)的內(nèi)阻很大,通過電壓計(jì)的電流小,因此,導(dǎo)線電壓與接觸電壓可以忽略不計(jì),測(cè)量的電壓值基本上等于電阻器兩端的電壓值。

通過采用四探針法取代二探針法,盡管電流所走的路徑是一樣的,但由于消除掉了寄生壓降,使得測(cè)量變得精que了。四探針法在后來,已經(jīng)變得十分普及,命名為四探針法。

Huace-800高溫四探針測(cè)試儀器采用四探針雙電測(cè)量方法,適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門,是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料在高溫、真空及氣氛條件下測(cè)量的一種重要的工具。本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料。液晶顯示,無需人工計(jì)算,并帶有溫度補(bǔ)償功能。采用高的精度AD芯片控制,恒流輸出,結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便,配備10英寸觸摸屏,軟件可保存和打印數(shù)據(jù),自動(dòng)生成報(bào)表;本儀器可顯示電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導(dǎo)率,配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu)。

雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó)A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測(cè)量,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析,自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,它與單電測(cè)直線或方形四探針相比,大大提高精que度,也可應(yīng)用于產(chǎn)品檢測(cè)以及新材料電學(xué)性能研究等用途。


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