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表面電荷測(cè)量系統(tǒng)的試驗(yàn)原理

日期:2024-10-29瀏覽:575次

表面電荷測(cè)量系統(tǒng)的試驗(yàn)原理

為了研究固-氣界面電荷的消散現(xiàn)象,首先須在試樣表面施加一定的初始電荷。本系統(tǒng)采用經(jīng)典的電暈充電電路對(duì)試樣進(jìn)行預(yù)充電,電極結(jié)構(gòu)如下圖, 針電極施加 正極或負(fù)極性高壓直流電壓,板電極接地,針電極針尖距離試樣表面10mm(可通過(guò)軟件調(diào)整距離),可軟通過(guò)件設(shè)置一定的充電試驗(yàn)。采用靜電電何探頭對(duì)材料的 表面電荷進(jìn)行測(cè)量。為了對(duì)試樣表面進(jìn)行掃描,通過(guò)步進(jìn)電極搭建了針對(duì)二維平面的掃描平臺(tái),如圖下所示。該 平臺(tái)將2個(gè)線性模組垂直安放,帶動(dòng)試樣臺(tái)進(jìn)行二 維平移運(yùn)動(dòng),電荷探頭被垂直固定在試樣臺(tái)的正上 方,與試樣表面的距離保持為一定的測(cè)量距離(通過(guò)軟件控制步進(jìn)電機(jī)移動(dòng))。探頭以圓周軌跡對(duì)樣品有效區(qū)域的掃描,實(shí)驗(yàn)中,靜電探頭和電荷放大器相連,電荷放大器的輸出的模擬信號(hào),通過(guò)12bit高分辨率 示波器采集,并傳輸?shù)缴衔粰C(jī)進(jìn)行運(yùn)算處理。

圖片1.png



極結(jié)構(gòu)

圖片2.png

試驗(yàn)腔體及電機(jī)部分




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