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基礎(chǔ)信息Product information
產(chǎn)品名稱(chēng)：
四探針測(cè)試儀器
產(chǎn)品型號(hào)：HCTZ-2S
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
所在地：北京市
更新日期：2024-01-02
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
HCTZ-2S四探針測(cè)試儀器是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的儀器。儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成，測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
產(chǎn)品特性Product characteristics
| 品牌 | 華測(cè) |
|---|
產(chǎn)品名稱(chēng)：四探針測(cè)試儀
產(chǎn)品型號(hào)：HCTZ-2S
品牌：北京華測(cè)
一、四探針測(cè)試儀器產(chǎn)品介紹
HCTZ-2S四探針測(cè)試儀器是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成，測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
HCTZ-2S雙電測(cè)數(shù)字式四探針試驗(yàn)儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換，采用兩次電測(cè)量，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析，自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，它與單電測(cè)直線或方形四探針相比，提高精確度，也可應(yīng)用于產(chǎn)品檢測(cè)以及新材料電學(xué)性能研究等用途。
四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶(hù)程序，通過(guò)此測(cè)試程序輔助使用戶(hù)簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
測(cè)試程序控制四探針試驗(yàn)儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來(lái)。用戶(hù)可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶(hù)對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。
二、四探針測(cè)試探頭
1、使用幾何尺寸十分精確的紅寶石軸承，量具精度的硬質(zhì)合金探針，在寶石導(dǎo)孔內(nèi)運(yùn)動(dòng)，持久耐磨，測(cè)量精度高、重復(fù)性好。
A.探頭間距1.00㎜
B.探針機(jī)械游率：±0.3%
C.探針直徑0.5㎜
E探針間及探針與其他部分之間的絕緣電阻大于109歐姆。
2、手動(dòng)測(cè)試架
手動(dòng)測(cè)試架探頭上下由手動(dòng)操作，可以用作斷面單晶棒和硅片測(cè)試，探針頭可上下移動(dòng)距離：120mm，測(cè)試臺(tái)面200x200(mm)。
三、產(chǎn)品應(yīng)用
HCTZ-2S四探針試驗(yàn)儀采用四探針雙電測(cè)量方法，本儀器配置各類(lèi)測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料。液晶顯示，無(wú)需人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能。采用精度高的AD芯片控制，恒流輸出，結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便，配備10英寸觸摸屏，軟件可保存和打印數(shù)據(jù)，自動(dòng)生成報(bào)表；本儀器可顯示電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導(dǎo)率，配備不同的測(cè)試治具可以滿(mǎn)足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu)。
四、產(chǎn)品特點(diǎn)
1.TVS瞬間抑制防護(hù)技術(shù)： 華測(cè)的TVS瞬間抑制防護(hù)技術(shù)，將起到對(duì)控制系統(tǒng)的防護(hù)。
2.本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置三個(gè)數(shù)字表，在測(cè)量電阻率的同時(shí)，一塊數(shù)字表適時(shí)監(jiān)測(cè)全程的電流變化，更及時(shí)掌控測(cè)量電流，一塊顯示2、3探針間的測(cè)量電壓，另一塊是顯示當(dāng)前1、4探針測(cè)量使用的電壓，可以適當(dāng)調(diào)整測(cè)量電壓避免材料耐壓不夠而電壓擊穿被測(cè)材料。
3.主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源，使測(cè)量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開(kāi)關(guān)，在測(cè)量某些薄層材料時(shí)，可免除探針尖與被測(cè)材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護(hù)薄膜。采用低通濾波電流檢測(cè)技術(shù)以保證采集電流的有效值 ，以及電流抗干擾的屏蔽。
4.探針采用碳化鎢硬質(zhì)合金，硬度高、常溫不生銹，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測(cè)量電阻率的重復(fù)性和度。本機(jī)如加配測(cè)量軟件，測(cè)量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正，并計(jì)算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度，給測(cè)量帶來(lái)很大方便。
5.HCTZ-800系統(tǒng)搭配Labview系統(tǒng)開(kāi)發(fā)的hcpro軟件，具備彈性的自定義功能，可進(jìn)行電壓、電流。
6.儀器通過(guò)USB轉(zhuǎn)RS232連接線與電腦連接，軟件可對(duì)四探針電阻率測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行處理并修正測(cè)量數(shù)據(jù)，特定數(shù)據(jù)存儲(chǔ)格式，顯示變化曲線，
7.測(cè)試系統(tǒng)的軟件平臺(tái)hcpro，采用labview系統(tǒng)開(kāi)發(fā)，符合導(dǎo)體、半導(dǎo)體材料的各項(xiàng)測(cè)試需求，具備穩(wěn)定性和安全性，并具備斷電資料的保存功能，圖像資料可保存恢復(fù)。兼容XP、win7、win10系統(tǒng)。
五、軟件功能
具有試驗(yàn)電壓設(shè)置功能；
可選擇試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)
可選擇是否自定義或自動(dòng)試驗(yàn)
截止條件：時(shí)間/電壓/電流;
語(yǔ)音提示:可選擇是否語(yǔ)音提示功能。
統(tǒng)計(jì)報(bào)告：可自定報(bào)表格式
可生出PDF、CSV、XLS文件格式
分析功能：可對(duì)測(cè)試的數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)。大/小值、平均值等。
六、技術(shù)參數(shù)
測(cè)量范圍
電 阻：1×10-4~2×105Ω， 分辨率：1×10-5~1×102Ω
電阻率：1×10-4~2×105Ω-cm， 分辨率：1×10-5~2×102Ω-cm
方 阻：5×10-4~2×105Ω/□， 分辨率：5×10-5~1×102Ω/□
數(shù)字電壓表
量程：20.00mV~2000mV
誤差：±0.1%讀數(shù)±2字
數(shù)控恒流源
量程：0.1μA，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA,1A
誤差：±0.1%讀數(shù)±2字
四探針探頭
碳化鎢探針：Ф0.5mm，直流探針間距1.0mm，探針壓力：0~2kg可調(diào)
薄膜方阻探針：Ф0.7mm，直流或方形探針間距2.0mm，探針壓力：0~0.6kg可調(diào)
七、注意事項(xiàng)
1、儀器操作前請(qǐng)您仔細(xì)閱讀使用說(shuō)明書(shū)，規(guī)范操作
2、輕拿輕放，避免儀器震動(dòng)，水平放置，垂直測(cè)量
3、儀器不使用時(shí)請(qǐng)切斷電源，連接線無(wú)需經(jīng)常拔下，避免灰塵進(jìn)入航空插引起短接等現(xiàn)象
4、探針筆測(cè)試結(jié)束，套好護(hù)套，避免人為斷針。
